1.EDS與XPS的相同點(diǎn):兩者均可以用于元素的定性和定量檢測。
2.EDS與XPS的不同點(diǎn):
1)基本原理不一樣:簡單來說,XPS是用X射線打出電子,檢測的是電子;EDS則是用電子打出X射線,檢測的是X射線。
2)EDS只能檢測元素的組成與含量,不能測定元素的價態(tài),且EDX的檢測限較高(含量>2%),即其靈敏度較低。而XPS既可以測定表面元素和含量,又可以測定表其價態(tài)。XPS的靈敏度更高,*低檢測濃度>0.1%。
3)用法不一樣:EDS常與SEM,TEM聯(lián)用,可以對樣品進(jìn)行點(diǎn)掃,線掃,面掃等,能夠比較方便地知道樣品的表面(和SEM聯(lián)用)或者體相(和TEM聯(lián)用)的元素分布情況;而XPS則一般獨(dú)立使用,對樣品表面信息進(jìn)行檢測,可以判定元素的組成,化學(xué)態(tài),分子結(jié)構(gòu)信息等。